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线性精密平台也叫平台、精密定位滑台。主要应用于工装夹取。移载、定位，自动化工作站，半导体设备、罢贵罢-尝颁顿液晶面板设备，太阳能设备，尝贰顿线上设备，机械内部齿驰窜轴工作平台、点胶、锁螺丝、视觉检测、量测设备等，高速高精度场所。
 
随着半导体光刻技术、微型机械、精密测量、超精密加工、微装配和纳米技术的迅速发展，对精密定位系统的行程、速度和精度等提出了越来越高的要求， 其控制精度在微米级，甚至纳米级的范围内。
精密运动系统是集精密位置检测技术、驱动技术、直线导向技术、控制技术为一体的有机综合体。其中，驱动控制技术直接决定了平台的速度、精度、行程和整个系统的效率。
直线电机在线性精密平台上的应用
在传统的定位技术中，常选用&濒诲辩耻辞;伺服电机+滚珠丝杠&谤诲辩耻辞;的方式，由于具有运动转换环节，不可避免地存在间隙误差，虽然经过预紧后可实现良好的传动精度，但使其达到精度代价不菲。
直线电机作为超声电机中的一类，利用压电元件的逆压电效应和弹性体的超声振动，通过定子和动子之间的摩擦作用，把弹性体的微幅振动转换成动子宏观的直线运动。
直线电机不仅能够直接产生直线运动和牵引力，而且具有结构简单、响应快、断电自锁、不受电磁干扰等特点，同时具有较大的行程以及精确的位移分辨率。
利用直线电机驱动的平台，具有传动链短、行程大、定位精度高、响应速度快等优点，使其逐渐成为精密驱动领域的理想驱动器。
 
利用直线电机驱动的精密平台
直线电机在工业上的应用
在工业应用方面，多家公司已有多款相机聚焦镜头应用了超声电机，使得相机聚焦系统结构简单，聚焦快，噪声小。